マイクロプローブシート FPD用基板などの点灯、画質検査で電極部にコンタクトする接触型プローブです。 〈特長〉 ・ガラス基板を使用。 ・アライメントが容易です。 ・温度、湿度の影響を受けずに安定した測定が可能。 ・接触部のバンプ高さが均一です。 ・8［μｍ］ピッチに対応可能。 材質 Auなど 基材／厚さ ガラス／0.5mmt 最小ピッチ 8［μｍ］

温湿度センサ マイクロマシニング技術を利用し、マイクロヒーターを温度湿度センサ、流量センサ、ガスセンサとしてご利用戴けます。 東京計装株式会社殿で、流量計のセンサとして、ご採用戴いています。 〈特長〉 チップサイズ ：2.5mm×2.5mm 応答時間 ：50msec以内 検出範囲（温度） ：セ氏0〜200度 検出範囲（湿度） ：0〜100% / RH 消費電力 ：2mW以下 〈用途〉 ・湿温度センサ ・流量センサ ・ガスセンサ ・風流センサ 〈搭載例〉 ・流量計（東京計装様ご提供） ・温度湿度計（リコーエレメックス様ご提供）