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Applied Technology

薄膜デバイス


マイクロプローブシート

FPD用基板などの点灯、画質検査で電極部にコンタクトする接触型プローブです。

〈特長〉
・ガラス基板を使用。
・アライメントが容易です。
・温度、湿度の影響を受けずに安定した測定が可能。
・接触部のバンプ高さが均一です。
・8[μm]ピッチに対応可能。


材質 Auなど
基材/厚さ ガラス/0.5mmt
最小ピッチ 8[μm]
 




温湿度センサ

マイクロマシニング技術
を利用し、マイクロヒーターを温度湿度センサ、流量センサ、ガスセンサとしてご利用戴けます。
東京計装株式会社殿で、流量計のセンサとして、ご採用戴いています。

〈特長〉
チップサイズ :2.5mm×2.5mm
応答時間 :50msec以内
検出範囲(温度) :セ氏0〜200度
検出範囲(湿度) :0〜100% / RH
消費電力 :2mW以下

〈用途〉
・湿温度センサ
・流量センサ
・ガスセンサ
・風流センサ

〈搭載例〉
・流量計(東京計装様ご提供)
・温度湿度計(リコーエレメックス様ご提供)

 






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